キヤノンMJがナノ3DX線顕微鏡発売、半導体や全固体電池の研究開発/故障解析支援 超大規模集積回路の高温動作寿命テストシステム、室温150℃でHTOL試験可能 DMG森精機子会社、従来比約2倍の新工場でX線検査の需要拡大に対応