半導体後工程製造装置事業で売上高1000億円へ、ヤマ発は先端半導体に集中投資 6000人のエンジニアが不足、日本が強み持つ半導体製造装置産業の課題 半導体高集積化/微細化で拡大するCMP装置、荏原製作所は先行投資で開発強化