電子機器／製造装置
東京エレクトロン
東京エレクトロンは7月28日、半導体の洗浄装置やコータ／デベロッパなどの開発／製造を手掛ける東京エレクトロン九州（熊本県合志市）の状況を発表した。
合志事業所（熊本県合志市）、大津事業所（熊本県菊池郡）ともに、現時点では建物や設備に大きな損害は確認されていない。29日は両事業所の稼働を停止し、安全点検を行っている。
（7月29日発表の第2報）
本社、大津事業所に勤務するグループ社員全員の無事が確認できた。建屋や設備に大きな被害はなく、週明けからの工場の本格稼働に向けて復旧を進めている。
荏原製作所
荏原製作所は7月29日、半導体製造装置の製造、ドライ真空ポンプのサービス／サポート拠点である熊本事業所（熊本工場）（熊本県玉名郡）の状況を発表した。
従業員全員の無事が確認できている。また、建物や設備においては現時点で大きな損害は確認されていない。29日は稼働を止めて点検を実施しており、安全が確認でき次第順次稼働を再開する予定だという。
（7月29日発表の第2報）
29日の稼働停止後に点検を実施した結果、設備の安全が確認できた。30日より通常通りの稼働を再開する予定である。
ローツェ
ローツェは7月28日、九州工場（熊本県合志市福原）の状況を発表した。
従業員の人的被害は現時点で確認されておらず、設備や建物の被害は現在確認中だという。
ローツェは広島県福山市に本社を置き、半導体／FPD関連装置や、シリコンウエハ中の金属不純物を自動分析する装置の開発／製造／販売などを手掛ける。
（7月30日発表の第2報）
九州工場において、一部建物と設備に軽微な損傷が確認され、必要な対応を実施しているという。
（8月3日発表の第3報）
九州工場の安全性に問題ないことが確認できたため、8月3日から順次稼働を開始した。
オムロン フィールドエンジニアリング
オムロン フィールドエンジニアリングは7月29日、被害状況を発表した。オムロングループにおいて、ATMやFA機器などの設計や保守／運用を担っている。
地震とその後の余震の影響により、交通機関や道路網、物流網の一部に支障が生じている。これに伴い、被災地域とその周辺地域において、同社が提供するオンサイト保守サービス、機器の設置／点検／修理対応、部品／消耗品などの配送に遅れが生じる可能性があるという。
堀場製作所
堀場製作所は7月29日、子会社で半導体事業を担う堀場エステックの阿蘇工場（熊本県阿蘇郡西原村）の状況を発表した。
従業員への人的被害や、建物や設備への大きな被害は確認されていない。同日は稼働を停止し、安全を最優先とした点検を行っている。また、同工場内に拠点を置く、堀場エステック、堀場アドバンスドテクノの九州中央セールスオフィス、堀場テクノサービスの熊本サービスステーションについても、同日は臨時休業としている。
堀場エステックの阿蘇工場では、堀場エステックのガス／液体の流体制御機器、堀場製作所の異物検査装置、血球計数装置や試薬、堀場アドバンスドテクノの薬液濃度モニター、pH計などの生産を手掛けている。
（7月30日発表の第2報）
阿蘇工場の点検を行い、大きな被害がないことが確認された。同日より一部のラインで生産を再開している。
（7月31日発表の第3報）
阿蘇工場において、主力製品であるマスフローコントローラーをはじめとする生産を同日より再開した。
平田機工
平田機工は7月28日、本社（熊本県熊本市）を含む各拠点の状況を発表した。
従業員の人的被害は確認されていない。また、建屋／設備についても、現時点において大きな損害は確認されていない。現在は地震による影響の全容把握に向けて、被害状況の詳細調査と設備点検を継続している。
平田機工は、自動車や半導体分野向けの生産システムや、産業用ロボット／物流関連機器などの製造と販売を手掛ける。
（7月30日発表の第2報）
建屋／設備の点検と調査を進めたところ、重大な支障を及ぼす被害は確認されなかった。同日より各拠点とも通常通り稼働している。
SCREENホールディングス
SCREENホールディングスは7月28日、熊本地区におけるグループ拠点の状況を発表した。
同日時点で負傷者は確認されていない。29日以降、建物などを含む被害の詳細を確認する予定だ。
同社熊本地区は、半導体製造装置の製造や保守サービス、人材育成を担う拠点である。
（7月29日発表の第2報）
従業員全員の無事を確認した。熊本地区の事業所の建物に一部被害が発生していることが分かり、引き続き確認を進めている。
フェローテック
フェローテックは7月29日、熊本地区の事業所や、子会社のフェローテックテクノロジーデベロップメントジャパンなどの状況を発表した。
従業員への人的被害はないものの、機器や装置などの位置ずれが確認されており、操業への影響について現在調査を進めている。同社は半導体製造装置向け部品の製造などを手掛けており、熊本県大津町に工場は精密部品の洗浄、修理、メンテナンスなどを担う工場がある。
（8月5日発表の第2報）
熊本地区の事業所は、地震直後より補修を進めた結果、8月5日より操業を再開した。
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