【クイズ】極低温絶縁膜エッチング技術第3世代の最大と最小のCD値の差は？：クイズで学ぶ！ モノづくりトレンド（1/2 ページ）

MONOistの記事からクイズを出題！　モノづくり業界の知識を楽しく増やしていきましょう。

[遠藤和宏，MONOist]

※この記事は、2024年9月5日発行の「モノづくり総合版メルマガ」に掲載された「クイズで学ぶ！　モノづくりトレンド」の転載です。

問題

　米国カリフォルニア州に本社を構えるラムリサーチの日本法人は、神奈川県内で記者会見を開き、極低温絶縁膜エッチング技術の第3世代である「Lam Cryo（ラムクライオ） 3.0」を開発したと発表しました。Lam Cryo 3.0によるホール加工は、従来品と比べてメモリホールの垂直性を1.6倍に向上できます。では、設計で設定された寸法との誤差を表すCD値の最大と最小の差はいくつでしょうか？

選択肢

1. 7nm
2. 8nm
3. 9nm

「Vantex Cシリーズ」に搭載されたLam Cryo 3.0のパフォーマンスの比較［クリックで拡大］ 出所：ラムリサーチ

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