1日当たり20億項目のデータを収集、東芝メモリ四日市工場が取り組むスマート化：スマート工場EXPO2019（1/2 ページ）

[長町基，MONOist]

　スマート工場・スマート物流を実現するためのIoTソリューションなどを一堂に展示する「スマート工場エキスポ」（2019年1月16日〜18日、東京ビッグサイト）で、世界の先端工場で進むスマート工場化をテーマとしたセミナーが開催。「ビッグデータの活用による半導体製造革新」と題して、東芝メモリ 四日市工場 副工場長の赤堀浩史氏が講演した。

大容量、低コストを突き詰めるための製造革新

　東芝メモリ四日市工場は、6カ所のクリーンルームを保有し、フラッシュメモリとしては世界最大規模の工場である。また、製造工程の完全自動化が進んでおり、材料や部品などは製造装置に自動搬送され、人手を介さずに製品となる。

東芝メモリ四日市工場第6製造棟のクリーンルーム内　出典：Western Digital

　フラッシュメモリに対するユーザーニーズは「なるべく大容量で、なるべく低価格で」というものであり、その期待に応えるために、メーカーとしてさまざまな取り組みを行ってきた。同工場でもこれらの課題に対応するため製造工程の革新に取り組んでいる。

　半導体はシリコンウエハーに集積回路を作るものだが、できるだけ微細化し、高集積化を果たし、容量を増やすことが進められてきた。現在は2次元から3次元の立体構造に移り変わっており3次元LSIが製造されている。

　半導体メモリの製造工程には500を超えるさまざまなプロセスステップがある。この中で現在、重要となっているのがプラズマプロセスである。関連してプラズマ計測技術を高める必要があり、この検査および計測技術の重要度が増している。また、3次元メモリの製造では、交互作用、現象解明という課題が特に問われているという。

東芝メモリが建設し2019年秋に完成予定の岩手県北上市の新製造棟のイメージ図　出典：東芝メモリ