室温で圧力掛けずにがっちり接合、わずか1nmの金属薄膜がウエハー同士を一体化：電子ブックレット

[EE Times Japan]

室温で圧力掛けずにがっちり接合、わずか1nmの金属薄膜がウエハー同士を一体化

　アイティメディアがモノづくり分野の読者向けに提供する「＠IT MONOist」「EE Times Japan」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。本日はEE Times Japanの記事『室温で圧力掛けずにがっちり接合、わずか1nmの金属薄膜がウエハー同士を一体化』をお届けします。

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室温で圧力掛けずにがっちり接合、わずか1nmの金属薄膜がウエハー同士を一体化

一般に水晶を使った光学部品は、異なった光学特性の水晶基板（水晶ウエハー）を、有機系接着剤で張り合わせて形成している。しかしこの手法では水晶に比べて光が透過する周波数帯域が狭くなる、接合部が厚いために、透過波面収差（光の透過むら）が大きい、高出力の光源に対する耐久性の点で難がある、といった欠点があった。

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